真空泵是用來從設備或生產系統中向外抽氣，使設備或生產系統處于真空下工作的機器。真空泵的主要工作性能參數有:抽氣速率、極限真空度、軸功率及轉速等。真空泵的抽氣速率是指單位時間內能抽走的氣體容積(米3/時)。極限真空度是指泵能達到的最高真空度。

化工生產中常用的真空泵有:往復式真空泵、水環式真空泵和噴射泵等幾種。

往復式真空系

往復式真空泵的結構和活塞式壓縮機基本相同。

真空泵的特點是壓力比很大。例如要達到95%的真空，名義上吸氣時的絕對壓力為0.005MPa,而排氣壓力卻為0.1Mpa，其壓力比為20。由于壓力比很大，殘存在余隙容積中的氣體膨脹后占據的容積就很大，使吸氣量大為減少，氣缸的有效利用率很低。

為了解決上述問題，一般都在氣缸兩端的缸壁上開幾條比活塞厚度長一些的溝槽，在活塞運行到止點位置時，用來平衡活塞兩側氣缸的壓力。如當活塞運行到左止點時，左側氣缸排氣終了，余隙容積內殘存壓力較高的氣體，右側缸內吸氣終了，壓力較低，由于溝槽的連通作用，左側缸余隙容積內的氣體壓力隨之降低。這樣，就使活塞返程運行時，殘留氣體膨脹占據的容積大為減小，使吸氣量增大。活塞運行到右止點也是如此。

往復真空泵適于抽送不含固體顆粒、無腐蝕性的氣體。這種真空泵的抽氣速率大、真空度高，在化學工業中廣泛應用。

我國生產的臥式往復真空泵，型號用w表示。有w-1至W-5五種規格。抽氣速率為65~770米3/時，極限真空度為750毫米汞柱。